专利详情

专利名称	静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器
申请号	CN200510051570.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1831545	公开（授权）日	2006.09.13
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	夏善红;彭春荣;白强;陈绍凤
主分类号	G01R29/12(2006.01)	IPC主分类号	G01R29/12(2006.01);G01R29/00(2006.01)
专利有效期	静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器至静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器，包括：静电梳齿激励部分、屏蔽电极、正感应电极和负感应电极、支撑梁部分和固定锚点等几部分。正感应电极和负感应电极既可以位于屏蔽电极的下方，也可以位于接地屏蔽电极的同一平面内，通过静电梳齿的激励作用，屏蔽电极在平面内来回周期振动，从而周期性地屏蔽、暴露正感应电极或者负感应电极，使得正感应电极和负感应电极产生交变的感应电流，实现外电场的探测。并且本发明采用正感应电极和负感应电极，实现差分检测，极大地减小了共模干扰，提高了电场信号检测的灵敏度。本发明的微型电场传感器具有如下优点：成本低、重量轻、易于批量生产和集成化、动态响应好、稳定性好、灵敏度高。