专利详情

专利名称	一种柔性电容式触觉传感器的制作方法
申请号	CN200710037606.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101059380	公开（授权）日	2007.10.24
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	车录锋;肖素艳;李昕欣;王跃林
主分类号	G01L1/14(2006.01)	IPC主分类号	G01L1/14(2006.01);B25J19/00(2006.01);B81C5/00(2006.01)
专利有效期	一种柔性电容式触觉传感器的制作方法至一种柔性电容式触觉传感器的制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器的制作方法，其特征在于所述柔性电容式触觉传感器的制作包括PDMS的中间层准备，柔性PI衬底的制备，金属敏感电极及其电连接的图形化，第一高弹性介电层PDMS和第二柔性介电层PI的形成，金属驱动电极及其电连接的图形化，最上层柔性绝缘保护层PI的图形化和柔性电容式触觉传感器的分离。本发明通过工艺的优化整合，实现了有机柔性材料PDMS及PI与传统MEMS工艺之间的兼容性。所制作的电容式触觉传感器结构轻薄，机械强度高，可挠性好，可贴附在任意曲率表面同时感受法向力和切向力的大小，同样适合由众多这种柔性电容式触觉传感器单元组成阵列的制造。