专利详情

专利名称	一种同步偏振相移干涉仪
申请号	CN201210487244.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102944169A	公开（授权）日	2013.02.27
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	艾华;杨鹏;曹艳波
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I
专利有效期	一种同步偏振相移干涉仪至一种同步偏振相移干涉仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种同步偏振相移干涉仪，以HeNe激光器作为线偏振相干光源，包括：携带了标准镜和待测镜相位信息的参考光和测量光，分别被所述偏振分光棱镜反射和透射后合束到同一光路中，在该光路上分别依次设有1/4波片和分束棱镜；光束可被所述消偏振分束棱镜分为等幅值的两部分，分束后的两光路上分别设有偏振分光棱镜；光束经过所述偏振分光棱镜后的光路上分别设有图像采集装置。本发明的同步偏振相移干涉仪，使用波片和偏振棱镜结构，通过采用偏振光干涉，可同一时刻获得相位依次相差π/2的四幅干涉图，可消除气流和环境振动对测量的影响，可应用于光学系统现场检验，复杂恶劣环境的光学检验，并能实现连续动态测量。