光刻机投影物镜大像差检测方法
- 申请号：CN201210105912.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN102621819A
- 公开(公开)日：2012.08.01
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 光刻机投影物镜大像差检测方法 | ||
| 申请号 | CN201210105912.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102621819A | 公开（授权）日 | 2012.08.01 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 段立峰;王向朝;徐东波 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 光刻机投影物镜大像差检测方法 至光刻机投影物镜大像差检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种光刻机投影物镜大像差检测方法。该方法采用多级Box-Behnken?Design抽样方法，并通过空间像主成分分析实现对光刻投影物镜大波像差的检测。本发明方法在像差幅值大于0.1λ时，能够使像差的检测精度提高30％以上。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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平台保障
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