专利详情

专利名称	一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法
申请号	CN201210087949.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102620680A	公开（授权）日	2012.08.01
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	贾辛;冯建美;林妩媚;廖志杰;邢廷文
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法至一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法，激光器发射的光经过空间滤波器、分光镜、准直光学组件、第一夹持架上平面后产生参考光，第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜组收集到CCD探测器接收。移相器用来产生移相。转台用来控制第二夹持架上的平面旋转。通过计算机控制插入转像组件可以用来产生第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面不同维度方向的检测结果，再通过第二夹持架上的平面的旋转来解出平面的绝对面形，在原有的三平面测量的奇偶函数法的基础上，解决了奇奇函数求取的问题，同时减少了求取高频分量所需的测量次数。