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一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪

  • 申请号:CN201110227518.5
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN102921675A
  • 公开(公开)日:2013.02.13
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪
申请号 CN201110227518.5 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102921675A 公开(授权)日 2013.02.13
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 王守国;贾少霞;赵玲利
主分类号 B08B7/00(2006.01)I IPC主分类号 B08B7/00(2006.01)I;H05H1/30(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I
专利有效期 一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪 至一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪,包括两个射频电极、一个接地电极、一个射频电源,其特征在于:该喷枪壳体为金属板,四周密封连接,上端为进气端,下端为喷气口,两个射频电极被壳体围在喷枪内部,介质阻挡层包裹着两个射频电极,喷枪金属壳体作为接地电极保持接地,两个射频电极之间有一条缝隙,工作气体采用氩气和氧气的混合气体,工作气体从两个射频电极之间的缝隙喷出,常压下,当射频电极与射频电源连接时,在射频电极的下面会产生大面积的辉光等离子体,等离子体中的自由基束流与被清洗的物体表面进行反应,由于大部分等离子体在介质阻挡层下面产生,降低了金属污染。

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