频率可切换的微机械谐振器
- 申请号：CN201310178457.7
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号：CN103326691A
- 公开(公开)日：2013.09.25
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 频率可切换的微机械谐振器 | ||
| 申请号 | CN201310178457.7 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103326691A | 公开（授权）日 | 2013.09.25 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 赵晖;杨晋玲;骆伟;杨富华 |
| 主分类号 | H03H9/24(2006.01)I | IPC主分类号 | H03H9/24(2006.01)I |
| 专利有效期 | 频率可切换的微机械谐振器 至频率可切换的微机械谐振器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种频率可切换的MEMS谐振器，包括：一中柱；一圆盘可动结构，该圆盘可动结构由连接至质心的中柱来支撑；多个驱动/检测电极，其呈放射状位于圆盘可动结构的周围；空气或固体间隙位于该圆盘可动结构和各驱动/检测电极之间。本发明通过改变驱动电极的连接方式，改变谐振频率；同时提出一种在不减小器件尺寸的前提下获得高谐振频率和高Q值的方法。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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