专利详情

专利名称	W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统
申请号	CN201210281679.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103575392A	公开（授权）日	2014.02.12
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司	发明（设计）人	李国光;刘涛;吴文镜;赵江艳
主分类号	G01J3/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/02(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I;G02B6/26(2006.01)I;G02B6/04(2006.01)I
专利有效期	W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统至W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种W型光纤束，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第III子光纤的输入端口捆绑连接，形成输入输出端口；所述第I子光纤和第Ⅳ子光纤的另一端分别连接一光纤端口；所述第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤构成W型光纤束。还公开一种使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统。本发明能减少系统光源和光谱计的数量，提高测量精度的同时达到降低系统成本的效果。