专利详情

专利名称	一种挡光式微机电可变光衰减器
申请号	CN201310510617.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103576241A	公开（授权）日	2014.02.12
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	毛旭;吕兴东;魏伟伟;杨晋玲;杨富华
主分类号	G02B6/26(2006.01)I	IPC主分类号	G02B6/26(2006.01)I
专利有效期	一种挡光式微机电可变光衰减器至一种挡光式微机电可变光衰减器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种挡光式微机电可变光衰减器，其包括：输入输出光纤、固定遮光板、可动MEMS器件、磁场产生装置和驱动电路；固定遮光板中心具有通光孔，驱动电路和固定遮光板的下表面与可动MEMS器件的上表面对准键合，可动MEMS器件中心具有运动遮光板，磁场产生装置为中心漏空结构，且可动MEMS器件和磁场产生装置的中心与通光孔的中心位于同一轴线；其中，光从输入光纤输入，通过固定遮光板的通光孔后，再经可动MEMS器件产生可控的光衰减后，由输出光纤输出；所述磁场产生装置提供与通过可动MEMS器件的电流相互作用产生洛伦兹力，驱动所述运动遮光板产生运动。本发明公开的可变光衰减器的光衰减量连续可调。