专利详情

专利名称	一种无结晶体管的电阻测试方法
申请号	CN201310511410.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103575998A	公开（授权）日	2014.02.12
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	王昊;韩伟华;马刘红;杨富华
主分类号	G01R27/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01R27/14(2006.01)I
专利有效期	一种无结晶体管的电阻测试方法至一种无结晶体管的电阻测试方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种无结晶体管的电阻测试方法，包括：制作由多个无结晶体管串连而成的有栅极结构和无栅极结构；这两组结构中多个无结晶体管的源级和漏极依次制作在两个相邻的接触台面上，且两个相邻接触台面之间通过导电通道连接，导电通道长度依次递增；其中，有栅极结构中，导电通道上覆盖有栅极，且每个栅极到源级和漏极的长度分别相等；通过测量无栅极结构相邻接触台面间的电流与电压值，确定两相邻接触台面的接触电阻；通过测量有栅极结构中无结晶体管的转移特性曲线对应的饱和电流，确定不同栅长对应的总电阻值，再利用差值法计算得到沟道电阻以及串联电阻。本发明测试方法简单可靠，精度较高，计算量小。