专利详情

专利名称	一种二自由度高精度大行程气浮工件台
申请号	CN201310630092.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103592824A	公开（授权）日	2014.02.19
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	周清华
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种二自由度高精度大行程气浮工件台至一种二自由度高精度大行程气浮工件台	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种二自由度高精度大行程气浮工件台，包括大理石底座，X向运动台，Y向运动台；所述大理石底座位于X向运动台和Y向运动台的底部，用于支撑整个X向运动台和Y向运动台；Y向运动台架设在X向运动台上，Y向运动台、X向运动台通过X向运动台的X横梁实现耦合，完成X向运动向Y向运动台传递，使该工件台具有XY两自由度运动功能；Y向运动台架在X向运动台上，构成一个“H”型两自由度大行程气浮工件台；该工件台采用了直线电机驱动和无摩擦的气浮导轨导向，使系统可以实现高速度，大行程的运动和高精度的定位。