专利详情

专利名称	耐高温涂层涂覆坩埚表面保护贵金属坩埚的方法
申请号	CN201310578308.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103602942A	公开（授权）日	2014.02.26
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所;上海硅酸盐研究所中试基地	发明（设计）人	吴承;戴灵恩;唐佳;陆晟;丁栋舟;毛日华;杨建华
主分类号	C23C4/12(2006.01)I	IPC主分类号	C23C4/12(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I
专利有效期	耐高温涂层涂覆坩埚表面保护贵金属坩埚的方法至耐高温涂层涂覆坩埚表面保护贵金属坩埚的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种耐高温涂层涂覆坩埚表面保护贵金属坩埚的方法，所述方法包括：贵金属坩埚的表面预处理：在密闭箱内采用氧化铝颗粒高速喷击贵金属坩埚外表面，使贵金属坩埚外表面形成极细的坑以增加坩埚的外比表面积；以及高温等离子喷涂：细氧化锆砂经高温等离子体喷涂涂覆在预处理后的贵金属坩埚外表面，形成致密氧化锆保护层。本发明通过对贵金属坩埚的外表面进行高速喷击细颗粒而形成极细的坑以增加坩埚的外比表面积，从而增加了保护层与坩埚外表面间的吸附力，并通过等离子体喷涂形成致密氧化锆保护层，从而减少贵金属坩埚的挥发，降低使用损耗，节约晶体生长成本。