专利详情

专利名称	一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法
申请号	CN201310574291.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103603026A	公开（授权）日	2014.02.26
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	张栋;汪爱英;孙丽丽;柯培玲
主分类号	C25F3/02(2006.01)I	IPC主分类号	C25F3/02(2006.01)I
专利有效期	一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法至一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法。该方法首先将工件以氧等离子体轰击工件表面，然后以工件为阳极，室温下在酸性电解液中进行电解退镀，电解电压以速率为0.5V/次～2V/次缓慢逐次增加，每次电压值上升后保持0～15min，然后观察工件表面类金刚石碳膜是否褪尽，若未褪尽，则继续增压，直至电压值上升至10V～20V；若褪尽，或者当电压值上升至10V～20V时，则将电压值在0～5s内迅速降回0V，然后取出工件、清洗后观察，若仍未褪尽则重复氧等离子体轰击与电解退镀过程。实验证实，该方法能够完全褪尽工件表面类金刚石碳膜，并且对工件不产生腐蚀以及破坏，具有良好的应用前景。