专利详情

专利名称	一种电子枪真空放电检测装置
申请号	CN201310598638.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103616621A	公开（授权）日	2014.03.05
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	马玉田;刘俊标;韩立
主分类号	G01R31/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01R31/12(2006.01)I;G01J3/30(2006.01)I
专利有效期	一种电子枪真空放电检测装置至一种电子枪真空放电检测装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种电子枪真空放电检测装置，包括导光系统（5）、CCD成像设备、光电传感模块、信号处理模块和显示模块。所述的导光系统（5）通过极紫外光纤分别与CCD成像设备和光电传感模块连接；所述的光电传感模块与信号处理模块连接；所述的CCD成像设备和信号处理模块分别与显示模块连接。所述的导光系统（5）布置在电子枪所处的真空室壁或真空室前端的高压瓷瓶壁上作为探头。本发明利用电子枪真空放电过程中产生的极紫外光分析电子枪的真空放电强度；CCD成像设备对电子枪真空放电进行曝光成像，对放电部位定位。