
一种非球面紫外光刻物镜
- 申请号:CN201310566185.8
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号:CN103616757A
- 公开(公开)日:2014.03.05
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种非球面紫外光刻物镜 | ||
申请号 | CN201310566185.8 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103616757A | 公开(授权)日 | 2014.03.05 |
申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 白瑜;邢廷文;林妩媚;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远 |
主分类号 | G02B13/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/18(2006.01)I;G02B13/14(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
专利有效期 | 一种非球面紫外光刻物镜 至一种非球面紫外光刻物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明提出了一种非球面紫外光刻物镜,用于将物平面的图像成像到像平面内。该非球面紫外光刻物镜,沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5和透射组6,从光束入射方向依次排布透射组1具有负光焦度,透射组2具有正光焦度,透射组3具有负光焦度,透射组4具有正光焦度,透射组5具有正光焦度,透射组6具有正光焦度,本发明的非球面紫外光刻物镜具有成像质量好,结构紧凑,较高的光刻效率等优点。 |
交易流程
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专利 -
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