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一种非球面紫外光刻物镜

  • 申请号:CN201310566185.8
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
  • 公开(公开)号:CN103616757A
  • 公开(公开)日:2014.03.05
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种非球面紫外光刻物镜
申请号 CN201310566185.8 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103616757A 公开(授权)日 2014.03.05
申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 白瑜;邢廷文;林妩媚;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远
主分类号 G02B13/18(2006.01)I IPC主分类号 G02B13/18(2006.01)I;G02B13/14(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期 一种非球面紫外光刻物镜 至一种非球面紫外光刻物镜 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提出了一种非球面紫外光刻物镜,用于将物平面的图像成像到像平面内。该非球面紫外光刻物镜,沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5和透射组6,从光束入射方向依次排布透射组1具有负光焦度,透射组2具有正光焦度,透射组3具有负光焦度,透射组4具有正光焦度,透射组5具有正光焦度,透射组6具有正光焦度,本发明的非球面紫外光刻物镜具有成像质量好,结构紧凑,较高的光刻效率等优点。

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