专利详情

专利名称	可实现快速阻抗匹配的射频电源系统
申请号	CN201310629233.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103619117A	公开（授权）日	2014.03.05
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	李勇滔;孙小孟;李英杰;夏洋;王文东
主分类号	H05H1/46(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/46(2006.01)I
专利有效期	可实现快速阻抗匹配的射频电源系统至可实现快速阻抗匹配的射频电源系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种可实现快速阻抗匹配的射频电源系统，包括射频功率发生器和阻抗匹配器，射频功率发生器输出的射频功率信号的频率根据阻抗匹配器获取的检测值来变化；阻抗匹配器包括检测器、控制器和执行机构；执行机构包括固定阻抗元件、可变阻抗元件和用于改变可变阻抗元件数值的驱动装置，可变阻抗元件仅有一个；控制器接收来自检测器的检测值，经处理计算后控制执行机构的驱动装置工作以改变可变阻抗元件数值。采用该射频电源系统，能够实现在较大等离子体腔室内的较细线宽工艺条件下的负载阻抗快速匹配，并且能够降低阻抗匹配器内的可变阻抗元件故障率，提高设备的使用可靠性。