专利详情

专利名称	低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器
申请号	CN201310552279.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103616532A	公开（授权）日	2014.03.05
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	王琦;陆轻铀
主分类号	G01Q10/00(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q10/00(2010.01)I
专利有效期	低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器至低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，涉及扫描探针显微镜的扫描结构，包括XYZ压电扫描管、导轨架、滑杆、弹簧片，XYZ压电扫描管与滑杆共轴并且在一端相互固定，弹簧片将滑杆外壁平行地压于导轨架的导轨上，滑杆的两端皆伸出于导轨架的导轨长度以外。本发明具有结构简单、工作高度稳定、回差极小的优点。利用本发明首次制成了仅使用小尺寸XYZ压电扫描管就能以低电压进行扫描成像的扫描探针显微镜，解决了现有技术不能兼顾这两个有利条件的难题。另外，使用本发明也制成了无需隔音、减振也能出同样高质量原子分辨率图像的扫描探针显微镜。