专利详情

专利名称	一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法
申请号	CN201310590933.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103632754A	公开（授权）日	2014.03.12
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	杨晔;王木钦;朱科;黄金华;兰品军;宋伟杰
主分类号	H01B5/14(2006.01)I	IPC主分类号	H01B5/14(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C30B28/12(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I
专利有效期	一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法至一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法，该超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜从下至上依次包括基片、AZO籽晶层和AZO主体层，AZO籽晶层厚度为5～20nm，AZO主体层厚度为100～180nm，该超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的电阻率为2.9～9.7×10-4Ω·cm，380～780nm波长范围内的平均透过率为80～90%。本发明中通过合理设置氧气与氩气的体积比为0～1，能够制备超薄的AZO籽晶层（小于20nm），且形成完美（002）择优取向的高质量AZO籽晶层。本发明通过设置与AZO主体层同质的AZO籽晶层，提高薄膜的应力减小；且能够在温度不高于200℃的条件下制备厚度不超过200nm的超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜，无需后续处理环节，节省生产能耗，降低了生产成本，提高了生产效率，适用于工业生产。