专利详情

专利名称	一种基于柔性衬底的传感器模块
申请号	CN201310680558.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103645215A	公开（授权）日	2014.03.19
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	梁圣法;李冬梅;李小静;张浩;罗庆;周磊;刘明;谢常青;杨洪璋
主分类号	G01N27/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/00(2006.01)I;G01N27/22(2006.01)I;G01N27/04(2006.01)I
专利有效期	一种基于柔性衬底的传感器模块至一种基于柔性衬底的传感器模块	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于柔性衬底的传感器模块，该传感器模块包括传感器部分及天线部分，二者均以柔性绝缘材料为衬底，并通过导线或夹具连接，其中，传感器部分用于感知外部敏感信号，天线部分用于无线信号的传输及接收，二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输。本发明以PI、PET等柔性绝缘材料为衬底，利用各种微电子微加工方法，将传感器及无线发射部分制作于其上并综合在一起，形成了无源无线可折叠且便携性高的组装的新型传感器模块。