专利详情

专利名称	一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法
申请号	CN201310617879.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103643225A	公开（授权）日	2014.03.19
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	黄富强;李爱民;王耀明;朱小龙;秦明升;张雷;谢宜桉
主分类号	C23C18/16(2006.01)I	IPC主分类号	C23C18/16(2006.01)I
专利有效期	一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法至一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法，包括：将至少一块衬底以将其中不需镀膜的一面封闭的方式固定于反应容器中；向所述反应容器内注入含有镉盐、硫源、氨水、和去离子水的反应溶液后将所述反应容器密封，其中所述反应溶液的体积小于所述反应容器的容积；将密封好的反应容器水平浸入到恒温水浴振荡器中，加热水浴并使所述反应容器以水平方向上回旋往复或者以中轴为轴心上下摆动的运动方式不停地将反应溶液混合均匀，从而在所述至少一块衬底的未封闭的一面上沉积均匀的硫化镉薄膜；以及硫化镉薄膜沉积至所需厚度后取出并清洗、干燥即制得大尺寸硫化镉薄膜。