专利详情

专利名称	微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法
申请号	CN201310642439.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103645347A	公开（授权）日	2014.03.19
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	陈代谢;殷伯华;韩立;刘俊标;林云生;初明璋
主分类号	G01Q60/24(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/24(2010.01)I
专利有效期	微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法至微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法。首先使AFM探针在未接触平板扫描器表面的情况下，驱动压电扫描器带动探针以一定频率和幅值进行X方向往复扫描运动，实时记录探针Z方向偏转以获得压电扫描器Z方向振动模态；然后通过自动进针及扫描器微调使探针与平板扫描器表面接触，再控制平板扫描器在X方向与探针同步运动，记录探针Z方向偏转以获得压电扫描器与平板扫描器同步运动振动模态；最后将记录的同步运动振动模态和压电扫描器振动模态相减，即可得平板扫描器某一位置点X方向运动引起的Z方向耦合振动模态。