专利详情

专利名称	使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素和金属元素的系统和方法
申请号	CN201310654614.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103645240A	公开（授权）日	2014.03.19
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	唐国强;赵洪
主分类号	G01N27/64(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/64(2006.01)I
专利有效期	使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素和金属元素的系统和方法至使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素和金属元素的系统和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素和金属元素的系统和方法，该系统包括二次离子质谱仪，中性溅射物收集装置，离子源和小型质谱仪，所述中性溅射物收集装置收集所述二次离子质谱仪在分析样品时产生的中性溅射物，并将其传送至所述离子源离子化后由所述小型质谱仪进行质量分析，所述二次离子质谱仪和所述小型质谱仪分别用来分析所述样品中的金属元素和非金属元素，或者，所述二次离子质谱仪和所述小型质谱仪分别用来分析所述样品中的非金属元素和金属元素，通过二次离子质谱仪和小型质谱仪能够达到同时分析样品中金属元素和非金属元素的目的。