专利详情

专利名称	石墨烯器件的制作方法
申请号	CN201310713413.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103646855A	公开（授权）日	2014.03.19
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	王浩敏;谢红;孙秋娟;王慧山;吴天如;谢晓明;江绵恒
主分类号	H01L21/04(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/04(2006.01)I
专利有效期	石墨烯器件的制作方法至石墨烯器件的制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种石墨烯器件的制作方法，所述石墨烯器件的制作方法至少包括：提供第一衬底；在所述第一衬底上形成PVA层；在所述PVA层上形成PMMA层；在所述PMMA层上形成石墨烯器件；将所述第一衬底、所述PVA层、所述PMMA层和所述石墨烯器件放入去离子水中，以溶解所述PVA层，使得所述PMMA层和所述石墨烯器件与所述第一衬底脱离；将所述PMMA层和所述石墨烯器件转移第二衬底上。本发明采用PMMA做支撑层，同时利用PVA作为牺牲层，然后，再通过去除PVA，使得形成在PMMA层上的石墨烯器件连同所述PMMA层一同脱离第一衬底，再与第二衬底（本实施例中为聚酰亚胺衬底）黏结，从而实现将石墨烯器件形成在第二衬底上。这样可以扩大石墨烯器件的应用范围。