专利详情

专利名称	孔径和厚度可调的超薄双通二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法
申请号	CN201310596186.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103668389A	公开（授权）日	2014.03.26
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	高旭东;费广涛;欧阳浩淼;易海丽;李阿蕾
主分类号	C25D11/26(2006.01)I	IPC主分类号	C25D11/26(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;B82Y30/00(2011.01)I
专利有效期	孔径和厚度可调的超薄双通二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法至孔径和厚度可调的超薄双通二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种孔径和厚度可调的超薄双通二氧化钛纳米孔阵列薄膜的制备方法，该方法采用四步电化学阳极氧化法可制得完整的、大面积的超薄双通二氧化钛纳米孔薄膜，然后通过调控氧化时间，氢氟酸的扩孔时间，可以实现对薄膜厚度和孔径的调控。本发明采用两次预氧化，有效避免了表面分叉孔的形成，保证制备的纳米孔薄膜的孔道是直的，且制备方法简单，成本低廉。