双端固支压电梁式微型电场传感器
- 申请号：CN201310491406.X
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院电子学研究所
- 公开(公开)号：CN103675480A
- 公开(公开)日：2014.03.26
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 双端固支压电梁式微型电场传感器 | ||
| 申请号 | CN201310491406.X | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103675480A | 公开（授权）日 | 2014.03.26 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 夏善红;冯可;佟建华;方东明 |
| 主分类号 | G01R29/12(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R29/12(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 双端固支压电梁式微型电场传感器 至双端固支压电梁式微型电场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供了一种采用MEMS工艺制备的双端固支压电梁式微型电场传感器。所述双端固支压电梁式微型电场传感器包括：基底；以及传感器敏感结构，形成在所述基底上，具有呈栅状结构的多个双端固支梁。根据本发明的传感器具有结构简单、体积小的优点。 | ||
交易流程
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专利 -
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