专利详情

专利名称	大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法
申请号	CN201310723796.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103674977A	公开（授权）日	2014.03.26
申请（专利权）人	中国科学院自动化研究所	发明（设计）人	史亚莉;张正涛;张峰;陶显;徐德
主分类号	G01N21/958(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/958(2006.01)I
专利有效期	大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法至大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种大口径光学元件表面损伤检测装置，该装置主要包括：专用夹具，对待检测光学元件进行定位和夹紧；激光自准直仪，安装于可检测到待检测光学元件的位置，用于检测待检测光学元件的姿态信息；线阵相机组件，安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部缩小的线阵图像；显微镜组件，安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部放大的面阵图像；扫描聚焦组件，对于待检测光学元件表面进行扫描、定位和聚焦；数据采集处理系统，对于专用夹具和扫描聚焦组件的运动进行控制，并对接收到的图像进行存储、处理和图像损伤信息分析。本发明具有广泛的应用前景和可观的社会经济效益。