专利详情

专利名称	基于竖直排列半导体纳米线的光电探测器制备方法
申请号	CN201310591009.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103681962A	公开（授权）日	2014.03.26
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	夏辉;李天信;姚碧霂;卢振宇;陈平平
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	基于竖直排列半导体纳米线的光电探测器制备方法至基于竖直排列半导体纳米线的光电探测器制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于竖直排列半导体纳米线的光电探测器制备方法，该方法的核心工艺包括：竖直排列纳米线的旋涂包裹支撑、低温热处理、电极的配置等。该方法对于半导体纳米线的尺寸、力学强度等没有特殊要求，因而将不仅仅局限于常规的Si、ZnO等耐冲击材料体系的的纳米线探测器制备，同时适于研发GaAs、InAs等III-V族以及其他材料体系的纳米线器件。另一方面所采用的低折射率旋涂介质以及低温热处理工艺等将有助于大幅提升纳米线器件的光电探测性能，这也是一直以来器件研发中所忽视的问题。该方法可以直接对外延生长的半导体纳米线进行器件制备，因此尤其适用于高灵敏度、大规模阵列型光电探测器的研发。