专利详情

专利名称	电子注分布分析的设备及方法
申请号	CN201210319749.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103675889A	公开（授权）日	2014.03.26
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	韦宇祥;黄明光;刘述清;郝保良
主分类号	G01T1/29(2006.01)I	IPC主分类号	G01T1/29(2006.01)I
专利有效期	电子注分布分析的设备及方法至电子注分布分析的设备及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种电子注分布分析的设备及方法。该电子注分布分析设备包括：真空室；电子枪组件，位于真空室内，固定于真空室上部的上法兰盘，与测试电源相连接，其在测试电源的脉冲激励下，垂直向下发射电子束；移动平台，位于真空室外，通过真空室下部的下法兰盘与真空室(3)密封连接；以及测量探头，位于真空室内，通过支撑杆连接于移动平台，其方向垂直于移动平台，其在当前位置点对电子枪组件发射的电子束进行测量；采样系统，位于真空室外，与测量探头的输出信号线相连接，其对探测探头测量的电信号进行采样。本发明电子注分布分析的设备采用立式结构，可以有效避免采用卧式结构探头由于重力影响出现的下摆以及抖动偏差。