
半导体器件及其制造方法
- 申请号:CN201210333081.8
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN103681840A
- 公开(公开)日:2014.03.26
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 半导体器件及其制造方法 | ||
申请号 | CN201210333081.8 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103681840A | 公开(授权)日 | 2014.03.26 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 朱慧珑;梁擎擎;钟汇才;尹海洲;骆志炯;叶甜春 |
主分类号 | H01L29/78(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
专利有效期 | 半导体器件及其制造方法 至半导体器件及其制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本申请公开了一种半导体器件及其制造方法。根据一示例,半导体器件可以包括:半导体层;半导体基体,位于半导体层上,所述半导体基体包括延伸穿过该半导体基体的空腔;源极和漏极,在半导体层上形成,且分别接于半导体基体的相对的第一侧面和第二侧面;栅极,分别接于半导体基体的相对的第三侧面和第四侧面。 |
交易流程
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选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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