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半导体器件及其制造方法

  • 申请号:CN201210333081.8
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN103681840A
  • 公开(公开)日:2014.03.26
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 半导体器件及其制造方法
申请号 CN201210333081.8 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103681840A 公开(授权)日 2014.03.26
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 朱慧珑;梁擎擎;钟汇才;尹海洲;骆志炯;叶甜春
主分类号 H01L29/78(2006.01)I IPC主分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I
专利有效期 半导体器件及其制造方法 至半导体器件及其制造方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本申请公开了一种半导体器件及其制造方法。根据一示例,半导体器件可以包括:半导体层;半导体基体,位于半导体层上,所述半导体基体包括延伸穿过该半导体基体的空腔;源极和漏极,在半导体层上形成,且分别接于半导体基体的相对的第一侧面和第二侧面;栅极,分别接于半导体基体的相对的第三侧面和第四侧面。

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