专利详情

专利名称	一种气体放电激光光源
申请号	CN201210333164.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103682953A	公开（授权）日	2014.03.26
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	陈进新;王宇
主分类号	H01S3/03(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/03(2006.01)I;H01S3/038(2006.01)I
专利有效期	一种气体放电激光光源至一种气体放电激光光源	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种气体放电激光光源，属于气体激光技术领域，解决了现有高压脉冲电源中，因外部条件限制激光光源系统更大能量、更高重频的发展要求的技术问题。该气体放电激光光源系统由放电腔、聚光模块和线宽压窄模块组成。所述放电腔由内、外两圈组成。所述外圈固定不动，安装有多个高压电源及电极，每个高压电源对应一个所述外圈上安装的电极。所述内圈由电机带着旋转，并且所述内圈上安装有多个电极，所述内圈上安装的电极与所述外圈上安装的电极形成阴阳电极。本发明通过改变放电腔外圈的高压电源及电极数量和位置、放电腔内圈的电极数量和位置、内圈旋转速度、放电腔外圈的高压电源放电时序，使更大能量和更高重频的激光输出成为可能。