专利详情

专利名称	光刻机光瞳整形单元结构及其衍射光学元件设计方法
申请号	CN201310576235.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103676498A	公开（授权）日	2014.03.26
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	司徒国海;蔡燕民;黄惠杰;王向朝
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I
专利有效期	光刻机光瞳整形单元结构及其衍射光学元件设计方法至光刻机光瞳整形单元结构及其衍射光学元件设计方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光刻机光瞳整形单元结构及其衍射光学元件的设计方法，光瞳整形单元包括级联衍射光学元件和变焦距准直透镜组。级联衍射光学元件包括第一衍射光学元件和第二衍射光学元件，这两片衍射光学元件的通光表面均垂直于照明系统光轴，这两片衍射光学元件均为纯位相元件。所述的级联衍射光学元件的设计方法，包括以下步骤：相位单元周期的计算；入射光束和确定所需光束的光强分布并进行离散化处理；对第二衍射光学元件和第一衍射光学元件的初始位相矩阵进行赋值；采用迭代算法，并进行量化处理，得到第二衍射光学元件和第一衍射光学元件的量化位相矩阵；评估设计结果。