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米量级光学元件的超高精度加工方法

  • 申请号:CN201310554717.6
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN103692294A
  • 公开(公开)日:2014.04.02
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 米量级光学元件的超高精度加工方法
申请号 CN201310554717.6 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103692294A 公开(授权)日 2014.04.02
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 魏朝阳;顾昊金;程鑫;易葵;邵建达
主分类号 B24B1/00(2006.01)I IPC主分类号 B24B1/00(2006.01)I
专利有效期 米量级光学元件的超高精度加工方法 至米量级光学元件的超高精度加工方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种米量级光学元件的超高精度加工方法,该方法利用环形抛光技术和磁流变抛光技术相结合,通过对不同加工工艺参数的优化组合,实现了对米量级光学元件的超高精度加工,该方法加工出面形精度的PV值达到1/8波长,RMS值达到1/50波长的米量级光学元件。

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