专利详情

专利名称	一种紫外波段的高像质投影光学系统
申请号	CN201410004957.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103698885A	公开（授权）日	2014.04.02
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	白瑜;邢廷文;林妩媚;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远
主分类号	G02B27/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B27/18(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种紫外波段的高像质投影光学系统至一种紫外波段的高像质投影光学系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种紫外波段的高像质投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该紫外波段的高像质投影光学系统，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5、透射组6和透射组7，从光束入射方向依次排布透射组1具有正光焦度，透射组2具有负光焦度，透射组3具有正光焦度，透射组4具有负光焦度，透射组5具有负光焦度，透射组6具有正光焦度，透射组7具有正光焦度，本发明的紫外波段的高像质投影光学系统具有高像质，结构紧凑等优点，可将将物平面的图像缩小0.25倍成像到像平面内。