专利详情

专利名称	自种子注入双腔结构准分子激光器系统
申请号	CN201310712625.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103701025A	公开（授权）日	2014.04.02
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	周翊;范元媛;单耀莹;吴月婷;沙鹏飞;宋兴亮;张立佳;崔惠绒;王宇
主分类号	H01S3/08(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/08(2006.01)I;H01S3/10(2006.01)I
专利有效期	自种子注入双腔结构准分子激光器系统至自种子注入双腔结构准分子激光器系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种自种子注入双腔结构准分子激光器系统，包括激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和宽带反馈模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，输出激光模式为放电腔中模式竞争取胜的激光模式。其中所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成窄带谐振腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；所述激光放电腔、激光输出模块和宽带反馈模块构成一个宽带谐振腔，用于对模式竞争胜出后的窄带谐振腔模式进行谐振放大输出。本发明不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出，而且可以提高输出激光的能量及稳定性、缩小系统体积、降低系统功耗，同时本发明结构简单，便于加工，调谐方便。