专利详情

专利名称	采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法
申请号	CN201310693328.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103698835A	公开（授权）日	2014.04.02
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	宋莹;巴音贺希格;李文昊;姜珊;潘明忠
主分类号	G02B5/32(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/32(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G03H1/12(2006.01)I
专利有效期	采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法至采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法，涉及光谱技术领域，现有技术中采用线阵CCD实现全息光栅曝光方法中存在由于线阵CCD的响应速度较慢，导致对较高频率的条纹抖动抑制效果差的问题，配备一套全息光栅曝光装置；配备一套外差式干涉条纹锁定控制装置；干涉条纹实时锁定并放置光栅基底进行曝光。本发明提出的方法可以保证在全息光栅的曝光过程中，干涉条纹相对光栅基底的相位锁定于某一固定值，由于控制带宽较高，可以较好的抑制高频条纹抖动，保证全息光栅槽型的对比度，提高全息光栅制作工艺水平。