专利详情

专利名称	一种低损耗极紫外光传输系统
申请号	CN201310740352.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103698899A	公开（授权）日	2014.04.02
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	王超;田进寿;赵卫;白永林
主分类号	G02B27/44(2006.01)I	IPC主分类号	G02B27/44(2006.01)I;G02B5/10(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I
专利有效期	一种低损耗极紫外光传输系统至一种低损耗极紫外光传输系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种低损耗极紫外光传输系统，包括超环面镜、光栅；超环面镜为非球面掠入射型超环面镜；光栅为掠入射型凹面聚焦光栅；超环面镜的入射光为极紫外光，入射光的光源位于超环面镜物点处；入射光依次经过超环面镜和光栅后，聚焦在为平面的光谱面上；光栅位于超环面镜聚焦点和光谱面之间；光栅表面设有光栅线；光栅线密度的分布满足公式关系：d(w)＝d0+d1w+d2w2+d3w3，其中，w为每条光栅线的中点距离光栅中心法线的距离；d0为光栅线密度，d0＝1190～1210l/mm；d1＝-3.646～-3.446mm-2，d2＝8.556～8.756×10-3mm-3，d3＝-2.309～-2.109×10-5mm-4。本发明提供了一种可以降低极紫外光聚焦反射过程的能量损失的低损耗极紫外光传输系统。