专利详情

专利名称	一种深紫外光学元件光学性能的综合测试方法
申请号	CN201410005252.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103712782A	公开（授权）日	2014.04.09
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李斌成
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种深紫外光学元件光学性能的综合测试方法至一种深紫外光学元件光学性能的综合测试方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种深紫外光学元件光学性能的综合测试方法，采用激光量热技术测量深紫外光学元件的吸收损耗绝对值，采用激光诱导荧光光谱技术测量深紫外光学元件在深紫外激光照射下的荧光光谱，采用拉曼光谱技术测量深紫外光学元件材料的缺陷能级、掺杂组分及杂质的含量。通过测量深紫外光学元件在深紫外激光波长的吸收损耗特性、荧光光谱特性及拉曼光谱特性评估深紫外光学元件的综合光学性能，通过测量深紫外光学元件在深紫外激光照射过程中吸收损耗、荧光光谱和拉曼光谱的实时变化监测深紫外光学元件性能的稳定性。在同一测量装置中测量深紫外光学元件的光学特性参数和实时监测深紫外光学元件在深紫外激光照射过程中光学特性的变化。