专利详情

专利名称	一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统
申请号	CN201410024170.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103713379A	公开（授权）日	2014.04.09
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	邓超;邢廷文;廖志远;朱红伟;杨雄
主分类号	G02B13/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/00(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I
专利有效期	一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统至一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统。本发明中的投影光学系统由一系列透镜和两个反射镜组成。从物面到像面依次有五个镜组，其中，两个反射镜一起组成第三个镜组，它是一个具有负光焦度的镜组，有利于帮助系统矫正场曲、减小系统的口径以及减少系统的非球面个数。本发明中的投影光学系统数值孔径大、像差小且结构紧凑，可有效地降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度。