专利详情

专利名称	一种光电探测器件转移制作系统及制作方法
申请号	CN201310745792.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103715034A	公开（授权）日	2014.04.09
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	卢裕;刘虎林;田进寿;赛小锋;韦永林;徐向晏;王俊锋
主分类号	H01J9/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01J9/00(2006.01)I
专利有效期	一种光电探测器件转移制作系统及制作方法至一种光电探测器件转移制作系统及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种光电探测器件转移制作系统及制作方法，包括阴极腔、阳极腔、工作传递腔、转移传递系统、烘箱及抽真空系统，阴极腔、阳极腔、工作传递腔之间通过阀门隔开，阴极腔和阳极腔分别位于工作传递腔两侧，转移传递系统包括水平传递系统和升降系统，水平传递系统包括阳极组件放置装置、阴极组件放置装置及水平传递装置，利用该制作系统进行光电探测器件制作时，除阳极组件组装过程外，其余工艺过程均在超高真空的清洁环境内完成，防止制作过程对倍增管核心器件造成污染；MCP阳极组件处理与光电阴极制作工艺相互独立，避免非阴极部分受阴极碱金属污染，保证MCP处于最佳性能工作状态。