专利详情

专利名称	一种基于光载流子辐射技术的高功率紫外激光光束特性测量记录方法
申请号	CN201410004908.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103712687A	公开（授权）日	2014.04.09
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李斌成;王谦
主分类号	G01J1/42(2006.01)I	IPC主分类号	G01J1/42(2006.01)I;G01J1/00(2006.01)I
专利有效期	一种基于光载流子辐射技术的高功率紫外激光光束特性测量记录方法至一种基于光载流子辐射技术的高功率紫外激光光束特性测量记录方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种基于光载流子辐射技术的高功率紫外激光光束特性测量记录方法，其特征在于：紫外激光光束照射到掺杂半导体材料表面产生激光退火效应，使得半导体材料由于掺杂引起的损伤得到修复，其修复程度的二维分布与激光束的光强分布有关。通过光载流子辐射技术测量掺杂半导体材料损伤修复情况的二维分布，经标定即可获得紫外激光光束的二维光强分布。本发明优点在于：本发明可以直接永久记录高功率紫外激光光束特性；本发明可以通过简单标定和数据处理即可获得高功率紫外激光光束特性。