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一种太赫兹光电探测器

  • 申请号:CN201310746552.2
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 公开(公开)号:CN103715291A
  • 公开(公开)日:2014.04.09
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种太赫兹光电探测器
申请号 CN201310746552.2 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103715291A 公开(授权)日 2014.04.09
申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 王丰;曹俊诚
主分类号 H01L31/08(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/08(2006.01)I
专利有效期 一种太赫兹光电探测器 至一种太赫兹光电探测器 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供一种太赫兹光电探测器,所述太赫兹光电探测器至少包括:表面覆盖有介质层的衬底、形成于所述介质层表面的单层石墨烯、设置于所述单层石墨烯两端的第一金属电极以及形成于所述衬底背面的第二金属电极;所述第一金属电极之间设置有测量电压变化的电流源;所述第二金属电极与单层石墨烯其中一端的第一金属电极之间设置有提供偏置电压的电压源,通过调节所述偏置电压来调制所述单层石墨烯光电导的特征峰位置,从而实现太赫兹频率的探测。

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