专利详情

专利名称	一种周期形貌可调谐的微纳米结构表面大面积制备方法及加工系统
申请号	CN201310563497.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103706947A	公开（授权）日	2014.04.09
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	胡衍雷;黄文浩;李家文;褚家如
主分类号	B23K26/067(2006.01)I	IPC主分类号	B23K26/067(2006.01)I
专利有效期	一种周期形貌可调谐的微纳米结构表面大面积制备方法及加工系统至一种周期形貌可调谐的微纳米结构表面大面积制备方法及加工系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种周期形貌可调谐的微纳米结构表面大面积制备方法及加工系统。激光干涉加工方法是一种被广泛使用的微纳米加工手段，但是激光干涉加工方法的局限性在于仅能产生固定周期和形貌的干涉场强度分布，由此加工出的微纳米结构形貌单一，可调谐性差，难以满足特定设计的多功能表面的加工需求。针对传统激光干涉加工技术遇到的瓶颈，本发明在原有多光束激光干涉加工系统的基础上，引入波前调制器件来精确调控光束波前相位和振幅，从而产生预先设计的目标干涉光场强度分布，最终实现可变周期和形貌的大面积微纳米结构加工。本发明为非周期性多样化结构表面的大面积批量化制备提供了有效的途径。