一种扫描近场光学检测台
- 申请号：CN201320724059.6
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号：CN203551595U
- 公开(公开)日：2014.04.16
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 一种扫描近场光学检测台 | ||
| 申请号 | CN201320724059.6 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN203551595U | 公开（授权）日 | 2014.04.16 |
| 申请（专利权）人 | 江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 黄海阳;武爱民;甘甫烷;盛振;李伟 |
| 主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I |
| 专利有效期 | 一种扫描近场光学检测台 至一种扫描近场光学检测台 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | |||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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