一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO3气敏涂层的方法及产品
- 申请号:CN201310743324.X
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 公开(公开)号:CN103741089A
- 公开(公开)日:2014.04.23
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO3气敏涂层的方法及产品 | ||
| 申请号 | CN201310743324.X | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN103741089A | 公开(授权)日 | 2014.04.23 |
| 申请(专利权)人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明(设计)人 | 武庆飞;黄晶;任坤;卢少阳;贺小燕;陈秀勇;刘奕;李华 |
| 主分类号 | C23C4/10(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C4/10(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO3气敏涂层的方法及产品 至一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO3气敏涂层的方法及产品 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种利用热喷涂技术制备超薄多孔WO3气敏涂层的方法及产品,所述的制备方法包括如下步骤:(1)配制WCl6液相前驱体;(2)将基体进行清洗、除油除锈和表面粗化处理;(3)将步骤(1)制备的WCl6液相前驱体送入热喷涂设备中,经高温反应、干燥、煅烧、凝结沉积在基体表面,得到所述的超薄多孔WO3气敏涂层。所述的制备方法具有操作简单、工艺流程少、成本低、适合工业化生产等优点,制备得到的WO3气敏涂层具有超薄多孔的亚微米结构,厚度为500nm~1μm,具有优异的气敏性。 | ||
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