专利详情

专利名称	用于电子注分析仪的电子枪热测系统及其监测校正方法
申请号	CN201410057251.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103760452A	公开（授权）日	2014.04.30
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	阮存军;李庆生;李崇山;龙志翘;吴迅雷;李彦峰
主分类号	G01R31/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01R31/00(2006.01)I;G01B11/14(2006.01)I
专利有效期	用于电子注分析仪的电子枪热测系统及其监测校正方法至用于电子注分析仪的电子枪热测系统及其监测校正方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种用于电子注分析仪的电子枪热测系统及其监测校正方法。该电子枪热测系统包括：主真空腔体；电子枪，位于主真空腔体内，包括：沿主真空腔体轴向依次设置的阳极、栅极和阴极，其中，阳极固定于主真空腔体的前端，栅极呈圆环形；同心轴组件，其一端插入主真空腔体内，另一端延伸于主真空腔体外，包括：内外相套的阴极内同心轴和栅极外同心轴；光学监测系统，用于通过开设于主真空腔体上的透明观察窗与栅极支筒侧面的狭长通透孔来监测电子枪中阴极和栅极的位置；以及碰零电路，分别通过设置于主真空腔体上的馈电头与阳极和栅极相连接，用于校正阳极和栅极的相对位置。本发明可以减小电子枪热测工作的工作量，提高测量的准确度。