专利详情

专利名称	一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法
申请号	CN201410022493.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103760627A	公开（授权）日	2014.04.30
申请（专利权）人	广州中国科学院先进技术研究所	发明（设计）人	邸思;金建;刘鹏;陈贤帅;杜如虚
主分类号	G02B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B3/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I
专利有效期	一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法至一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法，用不同颜色的光阻剂，结合传统的光刻法在基板上制作好具有滤光功能的滤光层，然后直接在该滤光层处以热熔法制作凸型微透镜阵列，使得该凸型微透镜集成滤光功能，而不需要另外的滤光片结构，实现了紧凑型多通道滤光微透镜的研制。本发明具有多个光通道，每个通道能独立获取对应波段的图像信息。由于采用光刻技术，配合第一掩膜板，也避免了滤光片与微透镜阵列对准的问题。在基板上各凸型微透镜之间增加了一层光阻挡层，可以减少入射杂散光和透镜之间的影响。本凸型微透镜阵列可以应用于多谱成像系统中，实现单色成像和彩色重构；同时本凸型微透镜阵列结构紧凑，也有利于多谱成像系统的小型化。