专利详情

专利名称	基于滤波器稳定的波前编码最优相位掩膜板参数获取方法
申请号	CN201410022991.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103760671A	公开（授权）日	2014.04.30
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	赵惠;雷广智;庞志海
主分类号	G02B27/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B27/00(2006.01)I
专利有效期	基于滤波器稳定的波前编码最优相位掩膜板参数获取方法至基于滤波器稳定的波前编码最优相位掩膜板参数获取方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种基于滤波器稳定的波前编码最优相位掩膜板参数获取方法，该方法包括：1）以加载相位板后的、离焦量为零的OTF构建复原滤波器2）根据复原滤波器计算出每一个离焦量所对应的光学传递函数的估计并得到光学传递函数的估计与传统系统衍射受限传递函数H_dl之间的差异，沿离焦参量这一维度求解该差异的均方根误差RMS；3）对均方根误差RMS进行积分获得可量化的目标函数；4）通过全局优化算法进行不断地迭代寻优，找出考虑了复原滤波这一过程的最优相位板参数。本发明提供了一种不仅能够起到使系统离焦不变的作用，而且也同时能够使复原图像尽可能地接近衍射受限效果。