专利详情

专利名称	氧化亚锡织构薄膜及其制备方法
申请号	CN201410017207.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103774098A	公开（授权）日	2014.05.07
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	刘权;梁凌燕;曹鸿涛
主分类号	C23C14/30(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/30(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I
专利有效期	氧化亚锡织构薄膜及其制备方法至氧化亚锡织构薄膜及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种氧化亚锡织构薄膜及其制备方法，本发明采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积得到氧化亚锡主体层和金属氧化物覆盖层，通过金属氧化物覆盖层的作用改变氧化亚锡薄膜的表面能，进而达到控制热处理过程中氧化亚锡主体层结晶取向，从而得到择优取向为（101）的氧化亚锡织构薄膜。本发明的氧化亚锡织构薄膜对衬底要求不高，采用普通的石英即可，且制备工艺简单，成本低廉，采用电子束蒸发法，可大面积均匀成膜，适用于商业生成。