专利详情

专利名称	一种紫外光子计数积分成像探测器阳极器件的加工方法
申请号	CN201310538853.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103779149A	公开（授权）日	2014.05.07
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	朱香平;邓国宝
主分类号	H01J9/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01J9/02(2006.01)I;H01J9/18(2006.01)I
专利有效期	一种紫外光子计数积分成像探测器阳极器件的加工方法至一种紫外光子计数积分成像探测器阳极器件的加工方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种新的紫外光子计数积分成像探测器阳极器件的加工方法，以克服传统机械加工技术难以达到交叉位敏阳极的精度，以及一般光刻技术无法精细的加工出上导电层及绝缘层的技术难题。本发明采用PCB加工技术，主要步骤有：预制光刻掩膜板、刻蚀阳极图案、模块键合、光刻掩膜板精确覆盖、飞秒激光切除绝缘材料、过孔沉铜接口连接。本发明加工精度高，工艺简洁，成品率高，成本低，能够大规模量产。