专利详情

专利名称	一种控制半导体LED外延片内应力的装置
申请号	CN201410028207.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103779453A	公开（授权）日	2014.05.07
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	张宁;魏学成;刘桂鹏;刘喆;王军喜;李晋闽
主分类号	H01L33/00(2010.01)I	IPC主分类号	H01L33/00(2010.01)I;H01L21/67(2006.01)I
专利有效期	一种控制半导体LED外延片内应力的装置至一种控制半导体LED外延片内应力的装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种控制半导体LED外延片内应力的装置，该装置包括：圆形或多边形结构的承载台(7)；安装于承载台(7)表面中心位置的升降台(5)；安装于升降台(5)上的应力机械手(6)；安装于承载台(7)表面升降台(5)两侧的第一样品支架垂直支柱(3)和第二样品支架垂直支柱(4)；安装于第一样品支架垂直支柱(3)顶端的第一样品支架水平夹(1)；以及安装于第二样品支架垂直支柱(4)顶端的第二样品支架水平夹(2)。利用本发明，可以改变LED外延片内的应力状态，提高LED发光效率；本设备也可以用来辅助测试LED内极化电场的强度。